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          公司名稱:上海添時科學儀器有限公司
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          產品名稱:1200℃三溫區三通道混氣CVD系統

          產品型號:OTF-1200X-80-III-F3LV

          更新時間:2022-07-28

          產品特點:OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認證的三溫區管式爐CVD系統,其管徑為80mm,采用機械泵,路浮子流量供氣系統組成,其真空度可達到 10-2 torr。

          品牌合肥科晶價格區間面議
          儀器種類管式爐產地類別進口
          應用領域化工,能源,電子,電氣,綜合

          殼體結構

           · 雙層殼體結構并帶有風冷

           · 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,可以減少熱量的損失,環保節能

           · 內爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命 

          可開啟式,更換爐管方便

          功率

           5 KW 

          電壓 

          AC 208-240V單相, 50/60 Hz 

          加熱元件

          Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 

          最高工作溫度

          1200℃ 

          連續工作溫度

          1100℃

          最大加熱速率 

           ≤20 ℃/min

          石英管& 密封法蘭

           · 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內 

          · 儀器上已經安裝有不銹鋼真空密封法蘭,壓力表和閥門(點擊下面的圖片查看詳細的信息)

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          加熱區長度

          · 三個溫區長度: (880mm, 35" in total)

           · 溫區 1: 220mm (8.6" ) 

          · 溫區 2: 440mm (17.3")溫區 3: 220 mm (8.6") 注:由于測量手段及外部環境的影響,測量結果可能會有偏差,此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。

          溫控系統

          · 三個精密溫度控制器,可獨立控溫· PID控制方式,通過PWM固體繼電器。

          · 30段可編程智能溫度調節儀,并可設置30段升降溫程序. 

          · 帶有過熱和斷偶保護功能

          控溫精度 

          +/- 1℃

          真空密封系統

           · 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥).

           · 通過機械泵真空度可以達到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機械泵和分子泵,真空度可以達到10-4 torr. 

           · 漏氣率 < 5 m-torr / min

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          真空泵 

          采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有進口的油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產生的油煙,減少泵油的損耗,保護環境和人體健康,過濾的0.3微米

          image.png

          數字式真空顯示計 

          可選:本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換

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          氣體流量計和壓力表 

          · 三個浮子流量計,能夠檢測到氣體的流 

          · 三路浮子量程分別為· 10-100 cc/min. 

          · 16-160 cc/min. 

          · 25-250 cc/min 

          · 內部安裝有一混氣罐有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統側面上,可以檢測氣體壓力及混合槽的壓力

          閥門 

          四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統側面上,用于控制氣體的流量

           外形尺寸 

          · 爐子: 1100 X 450 x 670mm 

              底部移動架: 600x600x597mm

           開門斷電 

          為保證使用安全,該電爐為開門斷電設計

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          凈重 

          約 90 Kg 

          運輸重量 

          245 lbs

          質保期

          一年質保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件 

          使用注意事項

          · 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 

          · 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa會更加精確安全 

          · 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態 

          · 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

          · 石英管的長時間使用溫度<1100℃對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等

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