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          公司名稱:上海添時科學儀器有限公司
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          首頁 > 產品中心 > CVD氣相沉積 > 高真空CVD系統 > 1700°C二通道混氣高真空CVD系統

          產品名稱:1700°C二通道混氣高真空CVD系統

          產品型號:GSL-1700X-HVC

          更新時間:2022-07-28

          產品特點:GSL-1700X-HVC是一款CE認證的二通道高真空CVD系統,它是由二路質子混氣系統和高真空機組組度可達1600℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr?;鞖庀到y可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導

          品牌合肥科晶價格區間面議
          儀器種類管式爐產地類別進口
          應用領域環保,化工,電子,電氣,綜合

          殼體       

           · 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命     

           · 保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環保節能,減少熱量的損失 

          · 真空泵和氣體混合系統位于移動架上,方便移動.儀器上已經安裝高真空法蘭,閥門,高真空機組

          爐管

           · 材質: 高純氧化鋁陶瓷管 

          · 一根高純氧化鋁陶瓷管已經安裝在爐子上

           · (標配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L 

          (選配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1000mm L

          功率

           6KW工作電壓  AC 208-240V單相, 50/60Hz 

          加熱元件 

          8 根1800°C grade MoSi2 heating element 

          工作溫度

           · 最高工作溫度.: 1650°C(<2h) 連續工作溫度.: 1600°C

          升溫速率

           ≤5°C/min 

          加熱區長度 

          加熱區長度: 457 mm (18") 

          溫控系統

           · 采用PID方式自動控制,并可設置30段升降溫程序

           · 控溫精度: ±1°C                   

           · 熱電偶: B 型,已經安裝在爐內 

          真空法蘭 

          · 一對不銹鋼真空密封法蘭已經安裝

           · 法蘭上帶有一機械壓力表

           · 兩個精密針閥 

          · 一個KF-25連接器 和KF-25 轉 KF-40 抽氣接口一個1/4"卡套接頭

           外形尺寸

           550 x 380 x 520mm

          功率        

          100~110W 

          工作電壓 

          AC 208-240V單相, 50/60Hz 

          外形尺寸

           600(L) x 600(W) x 700(H), mm

          高真空機組殼體

           · 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm 

          · 最大承載量:       600 Lbs on top 

          · 分子泵控制面板:   LCD 數字顯示內裝有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany: 

          控制面板

           · 一鍵操作:按下"start" 鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動(隔膜泵先啟動等真空度達到10-2mbar后,啟動)  

          · 系統控制旋轉速率:根據腔體內的真空度,系統自動控制旋片泵的旋轉速率   

          抽氣速率

           · N2     33 L/s·  He     39 L/s   (2340L/minute)H2   32 L/s

          工作范圍 

           1000 mbar to <1E-7 mbar 

          極限 

          <1E-8 mbar (without any leaking )

          質量流量控制器殼體

           · 采用 316不銹鋼制作                                                    

           · 混氣箱尺寸: Φ80X120mm   

          · 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mmMFC控制面板 (Click to enlarge),可根據客戶要求定制

          功率 

          18W 

          工作電壓

           AC 208-240V, 單相, 50/60Hz


          質保期 

          一年質保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

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