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          產品名稱:3靶等離子濺射儀

          產品型號:VTC-16-3HD

          更新時間:2022-08-01

          產品特點:VTC-16-3HD ,3靶等離子濺射儀,是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),控制面板采用觸摸屏模式,基片極限尺寸為2″,放置樣品的直徑為&#216;50mm,加熱溫度達500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材,不可以濺射輕金屬和碳。本機采用旋轉式樣品臺,能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜,適用于實驗室制備復膜的樣品。

          品牌深圳科晶價格區間面議
          產地類別進口應用領域化工,石油,電子,電氣,綜合

          VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),控制面板采用觸摸屏模式,基片極限尺寸為2″,放置樣品的直徑為?50mm,加熱溫度達500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材,不可以濺射輕金屬和碳。本機采用旋轉式樣品臺,能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜,適用于實驗室制備復膜的樣品。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對設備進行控制,操作方便直觀。該機設備小巧,占用實驗室空間少,操作簡單,應用廣泛。因此被廣泛應用于各大高校及科研院所的實驗室中。1、PLC控制面板,4.3″觸摸屏,PID控溫方式。
          2、可控參數包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。
          3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。
          4、已通過CE認證。

          產品名稱VTC-16-3HD  3靶等離子濺射儀
          產品型號
          VTC-16-3HD
          安裝條件本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
          1、水:不需要
          2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
          3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)
          4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,,承重50kg以上
          5、通風裝置:不需要
          主要參數
          1、輸入功率:110V/220V通用   2000W(含真空泵)
          2、輸出功率:1600VDC  50mA(最大電流)

          3、石英罩:?160mm×120mm

          4、樣品臺:?50mm(可選購加熱型樣品臺,最高溫度可到500℃;最長濺射時間不可超過5min)

          5、真空泵:120L/M旋片式真空泵
          6、進氣口:裝有精密可調針閥,以實現方便的調節進氣量

          7、靶材:尺寸直徑?47mm,厚度0.1mm-3mm;可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni,

           不可濺射氧化物、半導體、一些輕金屬、Al、Zn、C等

          產品規格

          尺寸:360mm×350mm×3600mm;
          重量:50kg

          可選配件1、KF25真空接口、卡箍
          2、不銹鋼波紋管(600mm)
          3、旋片式真空泵(120L/M)
          4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材
          5、加熱型樣品臺


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